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自動顯影機

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設備名稱 自動顯影機  品牌型號 MAX100SVS 

設備用途
通過高速旋轉的電機帶動晶圓轉動,結合自動噴涂顯影液和背洗,從而實現晶圓的顯影工藝。帶有自動熱板和冷板。

主要技術指標:
可用晶圓尺寸:2inch 3inch
最大轉速:4500rpm
轉速偏差:±5RPM
熱板溫度范圍: 室溫-160℃
冷板溫度范圍:室溫-25℃
顯影均勻性:5%

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